曝光工序工作版遮光装置

摘要

本实用新型涉及平板荫罩生产中曝光工序所使用的装置，特别适用于工作版上遮光装置。包括工作版，在工作版上覆盖一层薄不锈钢板。薄不锈钢板的对相应波长紫外线光的遮光率需达到98％以上。薄不锈钢板的厚度为0.15±0.05mm。不锈钢薄板光反射率高，温度低，副作用小，提高遮光率，并可以重复利用，操作方便。本装置在曝光过程中可重复利用、降低生产成本，提高遮光率。

主权项

1、一种曝光工序工作版遮光装置，包括工作版(1)，其特征在于，在工作版(1)上覆盖一层薄不锈钢板(2)。