改善碱性水溶液中剥离性能的光成象组合物及其干膜抗蚀剂

摘要

一种可用作光致抗蚀剂的负片型可光成象组合物，该组合物包括酸官能粘合剂聚合物、可光成象组分和光引发剂化学体系，其中粘合剂聚合物具有多峰分子量分布，以促进光致抗蚀剂以较小的颗粒快速剥离。快的剥离时间和小的剥离颗粒的结合可使光致抗蚀剂以有利于环境的只含水的方法从电镀的电路板上剥离。

主权项

1.一种负片型可光成象组合物，它包括：A)形成膜的粘合剂聚合物，该聚合物的总酸值在100-235之间，所述的粘合剂聚合物A)包括多峰分子量分布的聚合物，所述多峰分子量分布的聚合物包含高分子量聚合物组分和低分子量聚合物组分，并且所述高分子量和低分子量聚合物的组成比例应当使得该粘合剂聚合物A)的总重均分子量为20,000至200,000；B)能与所述的粘合剂聚合物A)交联的可光聚合单体；和C)光引发剂；而且，按照A)+B)+C)总重量计算，粘合剂聚合物A)占30-80％，可光聚合单体B)占19-69％，光引发剂C)占0.05-2％。