发明名称 Method and process of bonding and debonding of device wafers to carrier wafers
摘要
申请公布号 EP1289007(A3) 申请公布日期 2004.12.15
申请号 EP20020014551 申请日期 2002.07.01
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HELLMUND, OLIVER;VON KOBLINSKI, CARSTEN, DR.
分类号 H01L21/00;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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