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发明名称 Test pad having an automatic positioning microprobe and method for realisation therefor
摘要
申请公布号 EP0911641(B1) 申请公布日期 2004.12.15
申请号 EP19980402608 申请日期 1998.10.20
申请人 STMICROELECTRONICS S.A. 发明人 VALLET, MICHEL
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/316 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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