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发明名称 HIGH ENERGY ION IMPLANTATION BLOCKING METHOD USING NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 KR1019930000876(B1) 申请公布日期 1993.02.08
申请号 KR1019900003165 申请日期 1990.03.09
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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