发明名称 Interconnection structure in semiconductor devices and method for making the same
摘要
申请公布号 EP1341227(A3) 申请公布日期 2004.12.15
申请号 EP20030100227 申请日期 2003.02.04
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 JIANG, QING-TANG;JIN, CHANGMING;LUTTMER, J.D.
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址