发明名称 |
Interconnection structure in semiconductor devices and method for making the same |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1341227(A3) |
申请公布日期 |
2004.12.15 |
申请号 |
EP20030100227 |
申请日期 |
2003.02.04 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
JIANG, QING-TANG;JIN, CHANGMING;LUTTMER, J.D. |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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