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发明名称 METHOD OF FORMING A PATTERN OF SUB-MICRON BROAD FEATURES
摘要
申请公布号 EP1485756(A2) 申请公布日期 2004.12.15
申请号 EP20020775032 申请日期 2002.09.25
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 VAN DELFT, FALCO, C., M., J., M.;KETELAARS, WILHELMUS, S., M., M.;KROON, MARK
分类号 G03F1/16;G03F7/00;G03F7/075;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/40;G11B5/31;H01L21/027;H05K3/10;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F1/16
代理机构 代理人
主权项
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