高速电光相控阵二维激光光束扫描器

摘要

一种高速电光相控阵二维激光光束扫描器，其特征在于它的构成是：沿光束前进的方向依次包括；平面衍射光栅、准直透镜、水平扫描组件、垂直扫描组件，还有供水平扫描组件插设的电极插座和供垂直扫描组件插设的电极插座；所述的平面衍射光栅位于准直透镜的焦平面上；所述的水平扫描组件是由多块沿光轴方向切割的结构相同的铌酸锂晶体平板组合而成的晶体平板阵列，而且每一块铌酸锂晶体平板之间依序设有由短至长的等差长度的电极，所述的一系列电极插入电极插座；所述的垂直扫描组件与所述的水平扫描组件结构相同，只是二者置放的方位相互垂直。本发明的特点是扫描速度快、精度高、没有机械运动、结构简单、稳定可靠并有一定集成度。

主权项

一种高速电光相控阵二维激光光束扫描器，其特征在于它的构成是：沿光束前进的方向依次包括；平面衍射光栅(1)、准直透镜(2)、水平扫描组件(3)、垂直扫描组件(4)，还有供水平扫描组件(3)插设的电极插座(5)和供垂直扫描组件(4)插设的电极插座(6)；所述的平面衍射光栅(1)位于准直透镜(2)的焦平面上；所述的水平扫描组件(3)是由多块沿光轴方向切割的结构相同的铌酸锂晶体平板(31)组合的晶体平板阵列，而且每一块铌酸锂晶体平板(31)之间依序设有由短至长的等差长度的电极(32)，所述的一系列电极(32)插入电极插座(5)；所述的垂直扫描组件(4)是由多块沿光轴方向切割的结构相同的铌酸锂晶体平板(41)组合的晶体平板阵列，而且每一块铌酸锂晶体平板(41)之间依序设有由短至长的等差长度的电极(42)，一系列电极(42)插入电极插座(6)；所述的垂直扫描组件(4)与所述的水平扫描组件(3)结构相同，只是二者置放的方位相互垂直。