数字扫描光学传递函数测试仪谱面坐标标定装置

摘要

数字扫描光学传递函数测试仪谱面坐标标定装置，属于光学检验技术领域中涉及的一种光学传函测试仪谱面坐标标定装置。本发明要解决的技术问题是：提供一种数字扫描光学传递函数测试仪谱面坐标标定装置。解决的技术方案是包括标准矩形狭缝目标源、显微成像系统和被标定的光学传递函数测试仪的接口组件。在该装置中标准矩形狭缝目标源位于装置左侧，显微成像系统置于中间，它的右端与像分析器法兰对接。标准矩形狭缝目标源的光路光轴与显微成像系统的光轴重合，使得显微物镜的物方焦面落在矩形狭缝组转盘上，显微物镜的像方焦面落在扫描狭缝组件上，它特别适于大口径光学系统。

主权项

1、数字扫描光学传递函数测试仪谱面座标标定装置，包括被标定的光学传递函数测试仪的接口组件；其特征在于本发明还包括标准矩形狭缝目标源和显微成像系统；在该装置中标准矩形狭缝目标源位于装置左侧，显微成像系统置于中间，它的右端与像分析器法兰26对接，标准矩形狭缝目标源的光路光轴与显微成像系统的光轴重合，使得显微物镜18的物方焦面落在矩形狭缝组转盘14上，显微物镜的像方焦面落在扫描狭缝组件27上。