| 发明名称 |
HIGH THROUGHPUT ORGANOMETALLIC VAPOR PHASE EPITAXY (OMVPE) APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1105549(A4) |
申请公布日期 |
2004.12.15 |
| 申请号 |
EP19990933543 |
申请日期 |
1999.07.12 |
| 申请人 |
CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. |
发明人 |
SHEALY, J., RICHARD |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00;C23C16/458 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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