采用主动压力抛光盘磨制非球面光学镜面的方法

摘要

采用主动压力抛光盘磨制非球面光学镜面的方法，利用计算机控制软件控制磨镜机的运动，并通过磨镜机的横梁、抛光盘、底盘的位置传感器(光电编码器)，获得主动抛光盘相对于被磨制镜面的坐标，通过查表得到在当前的位置，向12组力促动器的控制电路输出12位的数据和相应的控制各个促动器电路工作的控制信号，主动、实时加力，使抛光盘变形为镜面上相应部分的理想的非球面，从而可以用磨制球面的方法来磨制高精度、大口径的非球面的天文镜面。

主权项

1、采用主动压力抛光盘磨制非球面光学镜面的方法，含安装在磨镜机垂直转轴上的磨头及磨头盘，磨头及磨头盘滑动配合在磨镜机横梁导轨上，磨头下设有主动压力抛光盘，与主动压力抛光盘相对的被加工光学镜面置于旋转的底盘工作台上，在主动压力抛光盘上设有使抛光盘变形的12个力促动器电机及三个提升点，提升点通过带有丝杆的机械传动链联接于压力驱动电机的输出端，压力驱动电机固定在磨头盘上，机械传动链中设置有重力传感器，12个力促动器电机连接有拉力传感器，横梁、抛光盘及底盘上设有位置传感器，抛光盘侧设有位移传感器，其特征是由计算机读取磨镜机的横梁、抛光盘、底盘的位置传感器，获得主动抛光盘相对于镜面的坐标，根据主动抛光盘相对于镜面的坐标，通过12个力促动器拉紧钢丝绳主动实时加力、读取重力传感器通过机械传动链施力三个提升点；读取位移传感器并与理想面形比较，通过力促动器修正误差。