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发明名称
INTERFEROMETRISCHES VERFAHREN ZUR PRUEFUNG VON ASPHAERISCHE WELLENFRONTEN ERZEUGENDEN OPTISCHEN ELEMENTEN.
摘要
申请公布号
AT98017(T)
申请公布日期
1993.12.15
申请号
AT19890119245T
申请日期
1989.10.17
申请人
FIRMA CARL ZEISS
发明人
KUECHEL, MICHAEL, DR.
分类号
G01B11/24;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/02
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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