发明名称 输送装置以及利用此输送装置之测试组
摘要 一种执送装置包含一主单元,一固持器可固持一物件,一弹接件可装接该固持器俾容许该固持器相对于主单元来位移,及一闩锁单元可选择性地使该固持器形成一锁定状态,其中该固持器相对于主单元的位移会受限制,或形成一未锁定状态,其中该固持器相对于主单元的位移系不受限制。
申请公布号 TWI225157 申请公布日期 2004.12.11
申请号 TW091134355 申请日期 2002.11.26
申请人 富士通股份有限公司 发明人 藤代 治;佐藤康范;丸山茂幸;小桥直人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/68 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种执送装置,包含: 一主单元; 一固持器可固持一物件; 一弹接件可装接该固持器而容许该固持器相对该 主单元来位移;及 一闩锁单元系可选择地使该固持器形成一锁定状 态,其中该固持器相对于主单元的位移会受限制, 以及一未锁定状,其中该固持器相对于主单元的位 移系不受限制。 2.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该弹接件 能装接该固持器,而容许该固持器沿着互相垂直的 X、Y、Z轴来位移,且该X、Y、Z轴中之一者系与该主 单元的移动轴相同,并可容该固持器绕该移动轴旋 转。 3.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该弹接件 能装接该固持器,而容许该固持器绕各互相垂直的 X、Y、Z轴来旋转,且该X、Y、Z轴中之一者系与该主 单元的移动轴相同。 4.如申请专利范围第2项之执送装置,其中该弹接件 更可容许该固持件绕该X、Y、Z轴来旋转。 5.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该弹接件 系至少利用下列一者:机械弹簧、流体、多孔弹性 材料、凝胶、及磁性结构。 6.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该固持器 系被分成多个部份,该每一部份皆会被弹接件相对 于该主单元来装接。 7.如申请专利范围第1项之执送装置,其中当该物件 压抵该目标时,该弹接件会在该物件与该目标之间 ,遍及整个接触区域来形成大致均一的接触压力。 8.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该弹接件 具有非线性的弹簧特性。 9.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该固持器 具有一永久磁铁固设其上,且该弹接件包含一电磁 铁而可在该弹接件与固持器之间产生吸力和斥力 。 10.如申请专利范围第9项之执送装置,其中该永久 磁铁及电磁铁会形成一闩锁单元。 11.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该闩锁 单元包含一闩扣件,系可于一该闩扣件会卡抵固持 器的锁定位置,及一该闩扣件会由固持器释脱的未 锁定位置之间移动。 12.如申请专利范围第1项之执送装置,其中该闩锁 单元包含一闩扣件连接于该主单元,而可绕一枢轴 枢转并朝一锁定位置来压迫,及一转矩产生器可绕 该闩扣件之该枢轴来产生一转矩,且该转矩会使该 闩扣件相反于该锁定位置来旋转。 13.如申请专利范围第11项之执送装置,其中该闩扣 件系连接于主单元而可绕一枢轴枢转并朝该锁定 位置来压迫,且该闩锁单元更包含一转矩产生器可 绕该闩扣件之该枢轴来产生一转矩,而该转矩会使 该闩扣件相反于该锁定位置来旋转。 14.如申请专利范围第12项之执送装置,其中当该物 件与目标之间的距离变成小于一预定値时,该转矩 产生器会产生该转矩使该闩扣件旋转至相反于该 锁定位置的未锁定位置。 15.如申请专利范围第13项之执送装置,其中当该物 件与目标之间的距离变成小于一预定値时,该转矩 产生器会产生该转矩使该闩扣件旋转至相反于该 锁定位置的未锁定位置。 16.如申请专利范围第1项之执送装置,更包含一切 换件系可依据下列至少一者:该物件与目标之间的 距离,该主单元的作动量,该主单元的移动速度,或 该主单元的加速度等,来将闩锁单元切换于锁定状 态和非锁定状态之间。 17.如申请专利范围第16项之执送装置,其中该主单 元的移动速度会随着该目标与物件之间的距离而 阶段式地改变。 18.如申请专利范围第16项之执送装置,其中该切换 件会在该物件快要接触目标之前,将该闩锁单元由 锁定状态切换成未锁定状态。 19.一种用来测试一物件的测试组,包含: 一测试单元系可对该物件进行一测试;及 一执送结构可输送该物件并相对于该测试单元来 定位该物件,该执送结构包含一主单元,一固持器 可固持该物件,一弹接件可装接该固持器使其能相 对于该主单元来位移,一驱动机构可驱动该主单元 来将该物件带向测试单元,及一闩锁单元系可选择 性地将该执送结构切换于一会使该固持器相对于 主单元的位移受限制的锁定状态,及一会使该固持 器相对于主单元的位移不受限制的未锁定状态之 间。 20.如申请专利范围第19项之测试组,其中该物件系 为一电子构件,而该测试单元包含一插座具有一接 触电极可对该电子构件进行一电测试。 21.如申请专利范围第20项之测试组,其中该测试单 元的接触电极之最大变形系小于0.5mm。 22.一种用来测试一物件的测试组,包含: 一测试单元系可对该物件进行一测试,而包含一目 标可承接待测物件,一弹接件可装接该目标并容许 该目标相对于一测试座位移,和一闩锁单元可选 择性地使该目标形成锁定状态或非锁定状态;及 一执送结构可输送该物件并相对于该目标来将之 定位,该执送结构包含一主单元,一固持器可固持 该物件,及一驱动机构可朝该测试单元来驱动主单 元。 23.一种用来执送一物件的方法,包含下列步骤: 使用一执送装置来执持该物件并带向一目标; 当该物体在一第一条件下被带送时,将该执送装置 保持在一锁定状态; 当一第二条件被满足时,将该执送装置切换成一未 锁定状态;及 在该未锁定状态下以该执送装置相对于该目标来 定位该物件。 24.如申请专利范围第23项之方法,其中该第二条件 系有关该物件与目标之间的距离,或该物件对该目 标的相对速度。 25.如申请专利范围第24项之方法,其中该执送装置 在该物件快要接触目标之前,会被切换成未锁定状 态。 图式简单说明: 第1图为一测试组100的顶视图,乃示出其整个结构; 第2图示出一载架70B设有本发明一实施例的执送结 构; 第3A图为示出该执送结构在锁定状态与未锁定状 态的正视图; 第3B图示出该载架之锁定状态与未锁定状态的底 视图; 第4图示出供固持受测物件之真空固持器的自由度 ; 第5A图示出该载架于执送该物件时在一下降开始 位置; 第5B图示出该载架在一模式切换位置,其中该执送 结构会由锁定状态切换至未锁定状态; 第5C图示出该载架在最底下位置,该物件会被套入 测试器的插座中。 第6图示出使用一范围感测器之模式切换例; 第7图示出模式切换的第二例;其中 第7A图为一图表乃示出该载架的升/降速度与该模 式切换时点之间的关系; 第7B图为一图表乃示出该载架的升/降加速度与该 模式切换时点之间的关系; 第8图示出使用一脉冲信号之模式切换的第三例; 其中 第8A图为该载架连接于一可输入该脉冲信号之控 制器的侧视图; 第8B图为一图表乃示出依据脉冲计数的模式切换 时点; 第9图示出该载架使用机械动作的第四模式切换例 ; 第10图示出使用于该执送结构中之浮动弹接件的 修正例; 第11图示出该浮动弹接件的第二修正例; 第12A图示出该浮动弹接件的第三修正例; 第12B图示出被分成多个部份之固持器的顶视图; 第13图示出该浮动弹接件的第四修正例; 第14图示出该活动弹接件的第五修正例; 第15图示出该活动弹接件的第六修正例; 第16A图示出该活动弹接件的第七修正例; 第16B图示出固持该物件之固持器的底视图; 第17图示出使用于该执送结构之闩锁单元74的修正 例; 第18图示出该闩锁单元的第二修正例; 第19图示出该闩锁单元的第三修正例; 第20图示出该闩锁单元的第四修正例; 第21图示出该闩锁单元的第五修正例;及 第22图示出使用于该载架之执送结构的修正例。
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