| 发明名称 |
Faser-optische Wafer-Sonde |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE10296750(T5) |
申请公布日期 |
2004.12.09 |
| 申请号 |
DE20021096750T |
申请日期 |
2002.05.03 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
MCCANN, PETER R.;MARTIN, JOHN T. |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R31/302;G02B6/36;G02B6/38;G02B6/42;H01L21/66;(IPC1-7):G02B6/36;G01M11/00;G02B6/00;G02B6/44;G02B7/00 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
