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发明名称 Wafer-Trägervorrichtung mit mehr als einem Transportband
摘要
申请公布号 DE69827327(D1) 申请公布日期 2004.12.09
申请号 DE1998627327 申请日期 1998.07.21
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 IIDA, NARUAKI;KOZAWA, SEIJI
分类号 B65G43/02;B65G43/08;B65G49/07;H01L21/027;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00;B65G43/06 主分类号 B65G43/02
代理机构 代理人
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