发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Dünnschichten mittels reaktiver Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号 DE69827310(D1) 申请公布日期 2004.12.09
申请号 DE19986027310 申请日期 1998.02.18
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 SONE, KAZUHO
分类号 C23C14/00;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/06 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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