| 摘要 |
Es wird eine kapazitive Trägheitserfassungsvorrichtung zum Erfassen einer durch Trägheitskraft hervorgerufenen Veränderung bei der Kapazität eines Sensorbauteils (1) bereitgestellt. Eine verschiebbare Einheit (2) des Sensorbauteils umfasst ein bewegliches Massenteil (21), welches in der Richtung der Trägheitskraft verschiebbar und durch ein Paar von auf dem Substrat (10) befestigten Auslegern (22, 22) in einem Raum gehaltert ist. Auf dem Substrat ist mindestens ein Paar von Erfassungeinheiten (7A, 7B) zum Erfassen der Verschiebung der verschiebbaren Einheit vorgesehen. Die Erfassungseinheit umfasst eine Steuereinheit (5A, 5B) und ein Paar von Abtastelektroden (31a, 31b), die der verschiebbaren Einheit entgegengesetzt angeordnet sind. Jeder Abstand zwischen der Abtastelektrode und dem beweglichen Massenteil kann frei eingestellt werden, wodurch die Empfindlichkeit der Erfassungsvorrichtung in einem weiteren Bereich verändert werden kann.
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