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Ein Scanmikroskop mit einer Vorrichtung zum Ermitteln von Eigenschaften eines Lichtstrahles, die ein Mittel zum Abspalten eines Messstrahles von dem Lichtstrahl und mindestens einen Detektor beinhaltet, der den Messstrahl zumindest teilweise empfängt, wobei im Strahlengang des Messstrahles ein Polarisationsbeeinflussungsmittel vorgesehen ist, ist offenbart. Das Scanmikroskop ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Verarbeitungsmodul vorgesehen ist, das in Abhängigkeit von zumindest einer mit dem Detektor gemessenen Lichtleistung die Lichtleistung und/oder die Polarisation des Lichtstrahles steuert bzw. regelt, und dass als Stellglied eines Regelkreises ein weiteres Polarisationsbeeinflussungsmittel im Strahlengang des Lichtstrahles angeordnet ist.
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