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发明名称 Verfahren zum selektiven Ätzen eines Metall-Oxids auf einem Tantal enthaltenden Material
摘要
申请公布号 DE69233442(D1) 申请公布日期 2004.12.09
申请号 DE1992633442 申请日期 1992.12.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 IKEDA, MITSUSHI;MUROOKA, MICHIO
分类号 G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
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