发明名称 METHOD FOR LIMITING DIVOT FORMATION IN POST SHALLOW TRENCH ISOLATION PROCESSES
摘要
申请公布号 KR20040103896(A) 申请公布日期 2004.12.09
申请号 KR20047001393 申请日期 2002.11.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/762;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/316;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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