发明名称 光学系统的多孔径杂光抑制装置
摘要 光学系统的多孔径杂光抑制装置为单一主体圆柱筒的内部空间被分割成由多个孔组成的多孔径结构,多孔径结构中各个孔径的形状是圆形,或扇形,或正方形,或多边形,所分割的多孔径结构的数量是根据光学衍射效应不影响光学系统成像质量的原则确定的,其主要技术特征是多孔径的结构,多孔径结构既不会降低光学系统的成像质量,又能很好地抑制杂光,特别是近处的杂光。该装置的一个主要应用例子是光学系统的多孔径遮光罩。
申请公布号 CN2662265Y 申请公布日期 2004.12.08
申请号 CN200320100420.4 申请日期 2003.10.15
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 曹雷;王继红;彭起
分类号 G02B7/02 主分类号 G02B7/02
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 刘秀娟;卢纪
主权项 1、光学系统的多孔径杂光抑制装置,其特征在于:单一主体圆柱筒的内部空间被分割成由多个孔组成的多孔径结构。
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