发明名称 |
铅/锡及无铅焊料的小间距倒装焊凸点模板印刷制备技术 |
摘要 |
本发明提出一种用于铅/锡及无铅焊料的小间距倒装焊凸点模板印刷制备技术,即制备可用于半导体封装的焊球的技术,包括以下步骤:采用镍-钒合金和浮脱工艺制备凸点下金属层和回流引导金属层;根据焊球尺寸和工艺要求,设计制备印刷模板;使用印刷机印制焊膏在晶片上;根据焊膏材料要求,在一定温度下回流形成焊球。这样提高了模板印刷技术制备焊球的工艺控制性,减小了焊球间距,提供了用于不同尺寸和材料的,具有可靠性的倒装焊焊球。 |
申请公布号 |
CN1553480A |
申请公布日期 |
2004.12.08 |
申请号 |
CN03142416.3 |
申请日期 |
2003.06.03 |
申请人 |
香港科技大学 |
发明人 |
陈正豪;肖国伟 |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
章社杲 |
主权项 |
1.一种制备可用于半导体封装的焊球的技术,包括以下步骤:a.采用镍-钒合金和浮脱工艺制备凸点下金属层和回流引导金属层;b.根据焊球尺寸和工艺要求,设计制备印刷模板;c.使用印刷机和设计制备的模板,印制焊膏在晶片上;d.根据焊膏材料要求,在一定温度下回流形成焊球。 |
地址 |
香港九龙清水湾 |