发明名称 COORDINATE MEASURING SYSTEM
摘要 <p>Zweistrahl-Interferometer mit wirksam reduziertem Einfluß der Wellenlängenänderungen auf die Weglängenmessung. Dies wird erreicht durch Einfügen eines lichtdurchlässigen, geschlossenen, inkompressiblen Körpers in den Referenzstrahlengang oder den Meßstrahlengang, so daß die außerhalb des Körpers verlaufenden Anteile von Referenzstrahlengang und Meßstrahlengang bei einer bestimmten Positionierung des verfahrbaren Meßspiegels gleich lang sind.</p>
申请公布号 WO1998003836(A1) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE1997001222 申请日期 1997.06.17
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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