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发明名称
摘要
申请公布号 JP3599017(B2) 申请公布日期 2004.12.08
申请号 JP20010355211 申请日期 2001.11.20
申请人 发明人
分类号 G06F17/50;H01L21/3205;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/320 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人
主权项
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