微型切削工具之耐磨损镀膜工艺方法

摘要

本发明提供一种在柄部直径(Shank diameter)为4毫米以下，材料为碳化钨烧结超硬合金(Sintered TungstenCarbide)或碳化钨瓷金(Tungsten Carbide Cermet)之微型钻头与铣刀上披覆硬质耐磨损薄膜的工艺方法。此耐磨损薄膜之厚度为0.5微米(μm)至3微米，化学组成为ZrHfCN，Hf之重量百分比为0－10％，其特点为镀膜层硬度高且附着力佳，因此能增进刀具之耐磨性，并进而提升其切削速度与延长刀具使用寿命以及切削加工之尺寸精确度，而实际测试在印刷电路板基板的加工用途上，可提高原工具母材加工寿命达1.5至3倍。

主权项

1.一种用于微型切削工具上披覆ZrHfCN超硬耐磨损薄膜的工艺方法，其特征在于：a.装载被镀物于夹具，进行清洗及烘干；b.装载该夹具于真空炉内，进行抽真空、加温至120℃-400℃；c.利用离子清洗该被镀物表面；d.进行镀膜：以低温物理气相沉积法进行表面披覆，并利用离子辅助装置及过滤网细化自靶材打出的离子；e.通入反应气体；f.使用氮气冷却被镀物。