发明名称 薄膜晶体管及其制造方法
摘要 一种薄膜晶体管的有效层包含有一信道区域、一间隔区域以及一掺杂区域,其中该间隔区域是位于该信道区域的外围区域,且该掺杂区域是位于该间隔区域的外围区域。一闸极绝缘层是形成于该有效层之上,包含至少有一区域以及一遮蔽区域,该区域是覆盖该信道区域,该遮蔽区域是覆盖该间隔区域。一闸极层是覆盖该闸极绝缘层的区域且暴露该遮蔽区域。
申请公布号 CN1553517A 申请公布日期 2004.12.08
申请号 CN03137981.8 申请日期 2003.05.29
申请人 统宝光电股份有限公司 发明人 张世昌;方俊雄;邓德华;蔡耀铭
分类号 H01L29/786;H01L21/336 主分类号 H01L29/786
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 王一斌
主权项 1.一种薄膜晶体管,其特征在于:所述薄膜晶体管包括:一基底;一有效层,是形成于该基底之上,包含有一信道区域、一间隔区域以及一掺杂区域,其中该间隔区域是位于该信道区域的外围区域,且该掺杂区域是位于该间隔区域的外围区域;一闸极绝缘层,是形成于该有效层之上,包含至少有一中央区域以及一遮蔽区域,其中该中央区域是覆盖该信道区域,该遮蔽区域是位于该中央区域的外围且覆盖该间隔区域;以及一闸极层,是形成于该闸极绝缘层之上,其中该闸极层是覆盖该中央区域且暴露该遮蔽区域。
地址 台湾省苗栗县