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发明名称 Continuously variable aperture for high-energy ion implanter
摘要
申请公布号 EP1030344(B1) 申请公布日期 2004.12.08
申请号 EP20000301220 申请日期 2000.02.16
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 MCINTYRE, EDWARD KIRBY;DELUCA, DONALD EDWARD;DIONNE, GERALD LEO;LOOMIS, PAUL ASHBY;RUTISHAUSER, HANS JURG;POLNER, DONALD N.;LU, JUN
分类号 C23C14/48;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/09;H01J37/304;G21K1/04 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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