| 发明名称 | 单体的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种通过在生物体催化剂的存在下进行酯化或酯交换反应制备通式(1)表示的抗蚀剂单体的制备方法，(其中R<SUP>1</SUP>表示氢原子或任选取代的烷基；R<SUP>2</SUP>、R<SUP>3</SUP>和R<SUP>4</SUP>各自独立地表示氢原子或者取代基；X、Y和Z各自独立地表示直接的键或任选取代的C<SUB>1</SUB>－C<SUB>3</SUB>亚烷基)。 | ||
| 申请公布号 | CN1553960A | 申请公布日期 | 2004.12.08 |
| 申请号 | CN02817888.2 | 申请日期 | 2002.09.11 |
| 申请人 | 三菱丽阳株式会社 | 发明人 | 佐藤荣治;金子真;村田直志 |
| 分类号 | C12P17/04;G03F7/039 | 主分类号 | C12P17/04 |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 段承恩;陈海红 |
| 主权项 | 1.在生物体催化剂的存在下，通过进行酯化或酯交换反应，制备通式(1)表示的抗蚀剂用单体的方法：<img file="A028178880002C1.GIF" wi="772" he="316" />(R<sup>1</sup>表示氢原子或者任选取代的烷基，R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地表示氢原子或者取代基，X、Y和Z各自独立地表示直接的键，或任选取代的C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>亚烷基)。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||