| 主权项 |
1.一种感测器,其包含:一感测结构(101,108),具有实质为零的弯曲以回应一物理状况的第一位置(202);以及一第一转换器(102),配置在第一位置(202)上来转换感测结构中的薄膜应力为一第一感测信号。2.如申请专利范围第1项的感测器,其中实质为零的弯曲发生在感测结构表面上之伸展应力与收缩应力间的变动时,以回应物理状况。3.如申请专利范围第2项的感测器,其中感测结构还包含一第二位置(203),其弯曲来回应物理状况。4.如申请专利范围第3项的感测器,其中感测结构包含一薄膜(101),其弯曲来回应物理状况,如此在感测结构表面上伸展应力与收缩应力间的变动时第二位置有着实质的弯曲,而第一位置有实质为零的弯曲。5.如申请专利范围第3项的感测器还包含一第二转换器(103)配置在第二位置(203)上来转换物理状况为第二感测信号,其有着感测结构中薄膜应力所引入的误差成份,以回应物理状况。6.如申请专利范围第5项的感测器还包含一误差补偿电路(104),其有一第一输入(366)被连结来接收第一感测信号,一第二输入(354,356)连结来接收第二感测信号,以及一输出来提供一经误差修正过的输出感测信号(VOUT)。7.一种感测、物理状况的方法,包含的步骤:提供一感测结构(101,108),其弯曲以回应一物理状况并在第一位置(202)处形成一薄膜应力,该第一位置具有着实质为零的弯曲;以及在第一位置上感测薄膜应力以提供一第一感测信号。8.如申请专利范围第7项的方法,其中实质为零的弯曲发生在感测结构表面上的伸展应力与收缩应力变动时,以回应物理状况。9.如申请专利范围第8项的方法,其中第一感测信号表示在感测结构中薄膜应力所引入的误差成份,以回应物理状况。10.如申请专利范围第9项的方法还包含步骤:在第二位置(203)上感测薄膜应力与弯曲应力以提供有误差成份的第二感测信号;以及结合第一与第二感测信号(在电路104中)来移除第二感测信号中的误差成份。图式简单说明:第一图说明一感测器的等长观点;第二图说明一有压力施加于其上的感测器侧视观点;以及第三图说明一误差补偿电路的组织架构图。 |
