发明名称 DEVICE AND METHOD FOR ANISOTROPICALLY PLASMA ETCHING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1483780(A2) 申请公布日期 2004.12.08
申请号 EP20030722207 申请日期 2003.03.05
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 LAERMER, FRANZ;BREITSCHWERDT, KLAUS;KUTSCH, BERND
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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