发明名称 NON-CONTACT SYSTEM FOR MEASURING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 EP1058843(B1) 申请公布日期 2004.12.08
申请号 EP19990905849 申请日期 1999.02.08
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 NIKOONAHAD, MEHRDAD;LEE, SHING;WANG, HAIMING
分类号 G01B17/02;G01B21/08;G01N29/00;G01N29/24;G01N29/34;(IPC1-7):G01N29/24 主分类号 G01B17/02
代理机构 代理人
主权项
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