| 发明名称 |
TURBOMOLECULAR PUMP WITH A HIGH-VACUUM SIDED CIRCULAR SUCTION SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1483506(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.08 |
| 申请号 |
EP20030711900 |
申请日期 |
2003.02.26 |
| 申请人 |
GESELLSCHAFT FUER SCHWERIONENFORSCHUNG MBH |
发明人 |
MOKLER, PAUL |
| 分类号 |
F04D19/04;F04D25/16;F04D29/04;(IPC1-7):F04D19/04 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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