发明名称 SCRIBING DEVICE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH11314928(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19990009293 申请日期 1999.01.18
申请人 BELDEX:KK;THK CO LTD 发明人 SHIMOTOYOTOME AKIRA
分类号 B26F3/00;B28D5/00;C03B33/027;H01L41/09;(IPC1-7):C03B33/027 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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