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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM STEUERN DER TEMPERATUR EINES WAFERS
摘要
申请公布号 DE69633726(D1) 申请公布日期 2004.12.02
申请号 DE19966033726 申请日期 1996.06.07
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 HUSAIN, ANWAR;NOORBAKHSH, HAMID
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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