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发明名称 Verdampfer
摘要
申请公布号 DE60106675(D1) 申请公布日期 2004.12.02
申请号 DE20016006675 申请日期 2001.05.29
申请人 SHIPLEY CO., L.L.C. 发明人 TIMMONS, MICHAEL L.;COLBY, RICHARD J.;STENNICK, ROBERT
分类号 B01J4/00;B01J7/02;C23C16/448;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/448;B01D1/00 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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