| 发明名称 |
Halbleiter-Prüfvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10297587(T5) |
申请公布日期 |
2004.12.02 |
| 申请号 |
DE20021097587T |
申请日期 |
2002.12.18 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
YAMAMOTO, KAZUHIRO |
| 分类号 |
G11C29/00;G11C29/56;(IPC1-7):G11C29/00;H01L21/66;G01R31/28 |
主分类号 |
G11C29/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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