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发明名称 SWINGING OBJECTIF RETARDING IMMERSION LENS ELECTRON OPTICS FOCUSING, DEFLECTION AND SIGNAL COLLECTION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 KR20040101340(A) 申请公布日期 2004.12.02
申请号 KR20047014962 申请日期 2002.03.21
申请人 发明人
分类号 H01J37/141;H01J37/28;G01N23/00;G21G5/00;H01J3/14;H01J3/26;H01J37/147;H01J37/244;H01J47/00 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
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