用于对高介电常数之介电材料施行蚀刻的方法与系统

摘要

一种利用电浆在一第一制程与一第二制程间加热一基板之方法，该加热方法包括藉由移除一热传气体之背侧供应并移除夹持力，以令基板支座上之基板达绝热效果；另外，将一惰性气体如高贵气体导入电浆处理系统并点燃电浆，且将该基板暴露于该惰性电浆中，持续一段足以令该基板温度自一第一温度(亦即典型上低于100℃)升高至一第二温度(亦即典型上约为400℃)之时间。