用于喷嘴排出式涂敷法之正型光阻组成物及光阻图型之形成方法

摘要

具有使排出喷嘴与基板相对移动将正型光阻组成物涂敷于基板之涂敷面全面之过程的喷嘴排出式涂敷法所用之正型光阻组成物，其特征为：含有(A)聚苯乙烯换算质量平均分子量(Mw)6000以上之硷可溶酚醛清漆树脂，(C)含有二叠氮基之化合物，以及(D)有机溶剂而成。