半导体加速感测器

摘要

本发明系提供一种半导体加速加速感测器(semiconductor acceleration sensor)。该半导体加速感测器主要包含有一非单晶矽基底，一具有一可动端(movable section)与一固定端的梁状(beam)结构，至少一压电电阻(piezoresistor)设于梁状结构上，一支承构件(supporter)设于非单晶矽基底上，用来固定梁状结构之固定端，使得梁状结构与非单晶矽基底之间相隔一距离，以及一薄膜电晶体(thin film transistor,TFT)控制电路电连接于该压电电阻与该梁状结构。