微影装置,元件制造方法及藉由该方法所制造之元件

摘要

劳仑兹(Lorentz)致动器因场线圈中电力损耗而产生热量。随着通过线圈之场的变化，于冷却部件中感生了涡电流，从而导致了不合需要之阻尼力与加热效应。本发明提供一种改良之设计，其藉由于冷却部件中并入槽来减少涡电流。槽较佳垂直于感生电场，并彼此平行，且藉由迫使涡电流取道较高电阻以减少其量级。