玻璃基板内缺陷之深度方向位置之检测方法

摘要

本发明的目的是在使摄影机的焦点面从玻璃基板的表面向内部移动的同时，基于被拍摄的缺陷的图像正确计算出缺陷的深度方向位置，以获得微细的缺陷的鲜明的图像，由此可以正确且立即判断玻璃基板的好坏。使摄影机的焦点面与玻璃基板表面缺陷存在的位置一致，遂使焦点从表面向里面侧移动，边拍摄缺陷的图像，使用该图像算出缺陷和背景的边界处的亮度梯度，作为对距离玻璃表面的移动距离的梯度指标GI值计算出，并决定梯度指标GI的最大值相对应的移动距离作为缺陷的深度方向位置。