在压印微影术处理期间形成不连续薄膜的方法

摘要

本发明描述藉由压印微影术将一基材图案化之方法。压印微影术方法包括将一可固化性液体放置在一基材上。可使一模板接触可固化性液体。可固化性液体与模板的介面上之表面力系造成可固化性液体聚集在一由模板的一下表面所界定之区域中。或者，可固化性液体可充填模板中的一或多个较浅凹部及模板下表面底下之区域。将活化光施加至可固化性液体以在基材上形成一图案状层。