隆起式微机电转换器

摘要

一种微机电系统开关，其可以形成一界定于该基材上之突起，该突起会与一设置在该基材上方之可偏斜构件形成一接触点。该可偏斜构件可以例如是一个悬臂或一可偏斜悬梁。在一具体例中，该突起可以使用场氧化技术面在该基材中形成。