溅镀靶

摘要

本发明之溅镀靶系经机械研磨而制得的溅镀靶。本发明系当观察靶之溅镀面的截面时，实质上已消除既定值以上之深度与长度的细微龟裂。如此本发明即可提供得有效降低电弧(特别系初期电弧)的产生，并明显提升初期稳定性的溅镀靶。