负型光阻组成物

摘要

本发明系于基板上设置下层膜，于该下层膜设置由负型光阻组成物所成之光阻膜，该光阻膜经选择性曝光后，该下层膜与该光阻膜同时以显影处理之图像形成方法，提供可得到良好解像性之负型光阻组成物。此组成物系含有(A)硷可溶性树脂，(B)由照射放射线产生酸之酸产生剂，及(C)交联剂，上述(B)酸产生剂为含有阳离子不具有亲水性基之盐。