喷嘴堵塞检测装置,液滴吐出装置,光电装置,光电装置的制造方法及电子机器

摘要

喷头20为，依控制装置10控制，由喷嘴群21之各喷嘴吐出液滴22。计测方法33为，以电气测定石英振动元件31之共振频率并输出至控制装置10。控制装置10为，根据于液滴22之吐出前后时的石英振动数之共振频率，判定有无喷嘴堵塞。