发明名称 处理设备
摘要 一阳极化容器的底部上被形成有开孔。一莲蓬头式电流路径形成机构被安排在该阳极化容器的下部。该机构具有一压力槽。一莲蓬头被安排在该压力容器的上部。一淋浴(shower)形式的导电溶液被射出或从该莲蓬头排出用以形成一液体电极于一基材的下表面底下。因此,一电流流动于一阴极与一阳极之间用以将该基材阳极化。该设备亦具有一机构其让一化学溶液从一化学溶液容器溢流出来用以在靠近该基材的下表面处形成一化学溶液流。
申请公布号 TW200426892 申请公布日期 2004.12.01
申请号 TW092136022 申请日期 2003.12.18
申请人 佳能股份有限公司 发明人 坪井隆志;山方宪二;口清文;柳田一隆;菅井崇;高梨一仁
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本