膜形成方法,电子装置的制造方法,膜形成装置及电子装置,电子机器

摘要

本发明的课题是在于提供一种可效率佳地使用材料，且可形成高品质的有机薄膜之膜形成方法，膜形成装置及使用彼来制造的电子装置，电子机器。本发明的有机薄膜形成装置10具备：溶液供给部11，气体供给部12，软离子化部13，离子分类部14，偏向部15及成膜部16。使应成膜的有机材料于软离子化部13形成微细的液滴，且使离子化或带电后，使该液滴气化而产生气体状的假分子离子。并且，在离子分类部14中从假分子离子来分类有机材料假分子离子。另一方面，在形成有机薄膜的电子装置基板中所被形成的复数个电极，利用事先形成于该电子装置基板的电路来赋予规定的附着电压，而使有机材料假分子离子能够选择性地附着于规定的电极。