微机电系统式电脑系统、时钟产生及振荡器电路、及其中所用之LC储能装置MEMS-BASED, COMPUTER SYSTEMS, CLOCK GENERATION AND OSCILLATOR CIRCUITS AND LC-TANK APPARATUS FOR USE THEREIN

摘要

本发明提供有关于微机电系统式电脑系统、时脉产生及振荡器电路、及其中所用之LC储能装置，且其使用CMOS相容制程所制成。在矽基板上之金属层中设置微机电性电感器(L)与一对可变电容二极体(C)，以实现高品质因数LC储能装置。此微机电LC储能装置与CMOS电晶体电路合并，以便实现数位可调整式、低相位变动、以及低功率时脉或时间基础，而用于同步基体电路。此所合成之时脉信号可以数位电路分割，从数十亿Hz至数千万Hz，此种系统方法相较于知技术大幅改善其稳定度。本发明使用先进电路设计技术，将功率消耗最小化，并且减少电晶体不稳定杂讯之向上转换，因此加强了时脉之稳定度。